我国研制出新型光学晶体：可满足晶圆检测需求

7月14日消息，中国科学院成功研制出一种新型非线性光学晶体，可以实现整个透光范围内的激光输出，满足我国半导体晶圆检测等领域的重大需求。

据了解，非线性光学晶体是获得不同波长激光的物质条件和源头。在晶体中实现应用波段相位匹配被普遍认为是重要的技术挑战之一，决定最终激光输出的功率和效率。

其中，利用晶体各向异性的双折射相位匹配技术是应用最广泛的弥补相位失配的有效途径。

研究结果表明，全波段相位匹配晶体宽的相位匹配波长范围，使非线性光学晶体透光范围得到充分应用，可实现1064纳米激光器二、三、四、五倍频高效、大能量输出，有望满足半导体晶圆检测等领域的重大需求。

同时，该晶体具有生长容易、成本低、效率高、抗激光损伤等优势，有望成为应用于大科学装置的新晶体材料。研究者表示，在晶体制备方面，研究团队已获中国发明专利授权，并已向欧洲、美国、日本等提交国际专利申请。